技术编号:12728420
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电驱动装置、马达、机器人、以及泵。背景技术通过压电元件使振动体振动来驱动被驱动体的压电致动器(压电驱动装置)不需要磁铁、线圈,所以被利用于各种领域。记载了在这样的压电驱动装置中,以防止过度的振动、防止超声波振子与被驱动体部件的点接触、以及提高功率效率等为目的,在压电驱动装置的与被驱动体的接触部附近设置弹簧区域(例如参照专利文献1~3)。专利文献1:日本特开2008-295234号公报专利文献2:日本特开平6-22565号公报专利文献3:日本特开2015-80329号公报然而,专利文献...
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