技术编号:12728670
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。MEMS谐振器技术领域本发明涉及一种MEMS谐振器,且更具体地,涉及这样一种MEMS谐振器:当向致动器施加电压来人为地限制支承质量体的弹簧时,上述MEMS谐振器可通过控制刚度来调整谐振频率的方法在不持续施加电压的状态下保持调谐状态(tuningstate)。背景技术一般地,微机电系统(MEMS:Micro-Electro-MechanicalSystem)技术用于通过处理硅、晶体(crystal)、或玻璃来制造微型机械结构,例如超高密度集成电路。通过硅处理技术开始的MEMS技术能够通过应用半导体...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。