技术编号：12732131
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种产品的批优先级调整装置及调整方法。背景技术当前一条半导体生产线的待加工产品(也即生产线在制品，WIP)，通常是包括多种不同的产品(product)，对于每种产品，则是会涉及到不同工艺节点(如28纳米、38纳米等)的器件(device)。因此，在晶圆沿着生产线一步步被加工执行时，其在每一站点(stage)，都将占据一定的优先级(priority)，尤其是在待加工产品数量较多时，每批晶圆的优先级将更加重要和严格。在实际生产中，通常会出现一种情况：某批产品(或晶...
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