技术编号：12732395
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及加速度测量技技术领域，具体是涉及一种新型力平衡加速度传感器。背景技术加速度振动测量是测量技术中的重要内容。随着人类技术的突飞猛进，对加速度测量的精度要求越来越高。在加速度测量技术中，制约测量精度的环节往往在于传感器，而由此发展出了多种加速度传感器技术。差分电容力平衡技术极大提高了加速度的频率范围和测量精度，在加速度测量中引起重视并得到应用。此类型的传感器由三个极板构成的差动电容、质量块、反馈线圈、弹簧片和磁钢组成。调零装置使得自然状态的中间极板处于中心位置。当传感器运动时，差动电容...
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