技术编号:12736302
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于半导体技术领域,具体地说是一种蓝宝石衬底蚀刻过程中,蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置。背景技术所谓图形化衬底就是通过感应耦合等离子体刻蚀(ICP)的办法在衬底上形成类似半球形、圆台形、圆锥形、三角锥形、多棱锥形、柱形或不规则图形等微结构。这类微结构对光波具有漫反射作用,可增加光子的逃逸几率,从而提高LED的发光亮度。衬底上有规律的微结构会在衬底生长上有一定的积极作用,提高产品均匀性以及图形化蓝宝石衬底的利用率。现在制作图形化蓝宝石衬底基本采用感应耦合等离子体刻蚀(ICP)方法,采...
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