技术编号:12737106
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一个或更多的实施方式针对一种制造薄膜晶体管(TFT)的方法、TFT基板和平板显示装置,更具体而言,针对使用氧化物半导体制造TFT的方法,和包括使用该方法制造的TFT的TFT基板和平板显示装置。背景技术诸如有机发光二极管显示装置或液晶显示(LCD)装置的平板显示装置包括至少一个薄膜晶体管(TFT)、电容器、以及使所述至少一个TFT和电容器彼此连接的布线。所述至少一个TFT的每个包括包含沟道区、源极区和漏极区的有源层,以及在沟道区上通过栅绝缘层与有源层电绝缘的栅电极。TFT的有源层通常由诸如非晶硅或...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。