技术编号:12737162
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子领域,涉及半导体加工设备,具体涉及一种基于半导体设备实时状态的物料调度方法及系统。背景技术随着半导体技术的发展,半导体加工设备越来越复杂。物料(待加工工件)在加工过程中需要在多个不同腔室之间传输,甚至还需在不同工艺进行加工处理。例如,利用分布布拉格反射镜设备加工物料时,如图1所示,物料通常需要在缓冲腔室(图中未示出)、预清洗腔室1、高温脱附去气腔室2和工艺腔室3之间传输,而且物料还可能在工艺腔室3内不同工艺位A、B、C、D之间进行传输。物料在不同腔室之间的传输是通过机械手6实现的...
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