一种高灵敏度半导体纳米紫外光探测器的制备方法与流程技术资料下载

技术编号:12737404

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本发明属于电学领域,涉及一种功能器件,具体来说是一种高灵敏度半导体纳米紫外光探测器的制备方法。背景技术紫外光探测器具有结构简单、体积小、重量轻、工作环境要求低、无电磁波辐射、抗干扰能力强等优点,广泛应用于通信、预警、导航、传感、环境检测及气体探测分析等领域,具有较大的应用价值。传统的光电倍增管型紫外光探测器,具有较低的暗电流和较高的响应度,但操作电压较高,器件体积较大且造价较高;Si基光电二极管型紫外光探测器,体积小,制作成本也较低,但Si材料禁带宽度较小,对可见光和红外有较高响应,必须附加滤波...
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