技术编号:12739044
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。声波谐振器及其制造方法本申请要求于2015年12月18日在韩国知识产权局提交的第10-2015-0181490号韩国专利申请的优先权的权益,所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。技术领域下面的描述涉及一种声波谐振器及其制造方法。背景技术随着使无线通信装置小型化的最近趋势,也已经努力使无线通信装置中所使用的射频组件减小。使用半导体薄膜晶圆技术而制成的薄膜体声波谐振器(FBAR)是上述中的示例。薄膜体声波谐振器指的是一种使用能够发生谐振的薄膜元件而实现的谐振器。薄膜元件通常通...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。