技术编号:12746840
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种在基板检查中使用的探针的保持结构。背景技术以往,在半导体集成电路等(被检查基板)的导通检查、电特性检查中,实施使用了极细的探针的检查。例如,公知有如下方法:利用探针用夹具保持多个探针的两端,将该探针用夹具夹在电极基板与被检查基板之间,使探针的两端分别与电极基板的端子和被检查基板的端子相接触来进行检查。在这样的检查中,在被检查对象的电极较小的情况下,需要减小探针的最小间距(配置间隔)。但是,在以往的探针中,探针的最小间距必然是由探针的金属销的直径来确定的。即,在将探针向探针用夹具内插...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。