技术编号:12749729
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明热释电探测器电子技术领域,具体涉及一种具有金字塔阵列结构的热释电探测器吸收层及其表面金字塔阵列结构的制备方法。背景技术热释电红外探测器的诸多优点使其在探测与安防等领域获得广泛应用。其结构包括红外镜头、吸收层、辐射调制器、焦平面阵列、读出电路等部分。红外辐射经过物镜会聚于焦平面阵列前需要经过辐射调制器的调制。热探测器吸收层把吸收的红外辐射后转化为热量传递给热释电材料,热释电材料感应到温度变化后会产生电荷,电荷流动产生电流。因此,红外吸收层对热释电探测器的性能起着至关重要的作用,现有技术中热释...
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