技术编号:12753655
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域,尤其是一种往复式硅块抛光机。背景技术当前,企业在对硅片进行抛光加工时均采用人工进给的方式,这种方式不仅效率较低,同时,人工操作存在人为的不确定性因素,容易导致硅片加工质量低的问题,降低企业经济效益,存在不足。发明内容本实用新型的目的是提供一种往复式硅块抛光机,为克服上述的不足,采用电机控制的往复式进给方式,不仅提高了生产效率,同时,电机控制的误差小,有利于提高硅片的加工质量与精度,提高企业经济效益。本实用新型的技术方案:一种往复式硅块抛光机,包括底座、电机座、...
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