技术编号:12757071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电极加工领域,具体说是一种微细工具电极的制备方法,主要适用于制备微细圆柱电极、微细薄片电极、微细直纹面电极等。背景技术微型机械在未来社会中的作用和地位是毋庸置疑的,微型机械的实用化将在很大程度上依赖于微三维结构的成功制作上。常见方法包括:高速切削加工、电化学加工、高能束加工、电火花加工等。高速切削加工一方面机床比较昂贵,另一方面受切削应力的限制在微细结构加工中存在局限性;电化学加工技术由于电流密度不均匀导致其在加工精度上无法满足要求;激光等高能束加工在制作三维结构时也难以达到精度要求。...
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