技术编号:12758476
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化工领域,具体涉及一种制备硅氧化合物的制造设备。背景技术SiO是用作制备光学玻璃、半导体材料以及锂离子电池负极材料的重要原料。由于SiO的生产条件苛刻,其产量不能满足市场需求。目前公开的生产方式一般是在真空和高温条件下使Si和SiO2反应产生SiO气体,并使SiO低温凝结。目前工业上SiO的生产设备是将反应室和收集室均设于真空筒内,在反应室与真空筒之间的空腔中放置电热丝,这种设备不能有效增加反应室尺寸,导致产品产量较低,还也会导致产品各方向上的材料组成均一性较差。由于发热器件处于真...
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