技术编号：12768887
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光刻机激光成像技术领域，具体来说是一种用于镜筒调焦的微调装置。背景技术曝光组件是PCB光刻设备的核心部件，通过曝光组件对PCB上感光胶进行曝光，产生相应的图形，而后通过一系列的工艺制作出所需要的PCB板。由于现在PCB板线路的线宽非常细，达到微米级，曝光组件的曝光效果要求非常高，而在设备中曝光组件往往非常重，如何对曝光组件的焦面能够精细调整就非常关键。因此研究出一种能够对曝光组件中镜筒的焦距进行精细微调的装置已经成为急需解决的技术问题。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有技术...
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