技术编号：12768926
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及具有由准静态(quasi-static)压电致动可倾斜的结构的微机械设备。特定地，在下文中将参照以MEMS(微机电系统)技术而获得的微镜，而这不暗示任何一般性损失。背景技术微机械结构已知为具有利用半导体材料的技术获得的镜结构。这些微机械设备被用在便携装置中，诸如举例为便携计算机、膝上型电脑、笔记本电脑(包括超薄型笔记本电脑)、PDA、平板电脑、蜂窝电话和智能电话中，以用于光学应用，特别是根据需要用于引导由光源生成的光束。凭借它们减小的尺寸，这些设备能够满足关于面积和厚度的体积的严格...
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