技术编号:12769440
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种新型电加热型吸气元件的制备方法,属于电真空吸气元件技术领域。背景技术吸气材料能够通过物理或化学吸附作用吸收真空器件中的残余活性气体或器件使用过程中释放的活性气体,提高真空系统的极限真空水平,避免气体与精密元件反应导致污染或气体阻尼过大等负面作用,达到维持真空设备或密封器件真空品质与理想工作环境的目的。在使用过程中,一般要求吸气元件具备优良的吸气性能和强度性能,同时安装工艺简单,满足这些要求除了与吸气材料本身特性有关外,更与吸气元件的制备工艺有直接关联。在吸气材质确定的前提下,吸气元...
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