多晶湿法刻蚀设备的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12772417

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本实用新型属于太阳能电池片制造领域,具体地说,涉及一种多晶湿法刻蚀设备。背景技术多晶湿法刻蚀设备是一种链式多晶硅片清洗设备。该清洗设备具有二合一功能,能够实现湿法刻边和去除磷硅玻璃(切断电池片表面PN结,使电池片正面和背面绝缘,以及腐蚀表面扩散层)。随着这种设备的出现,等离子刻蚀设备被逐渐淘汰,太阳能电池片生产工艺被逐渐优化。现有的多晶湿法刻蚀设备大多采用“水上漂”的湿法刻蚀技术对硅片的背面和硅片的四个侧边进行刻蚀。但是这种技术缺乏对硅片扩散面(上表面)的保护,硅片在刻蚀槽(保持8℃的工艺槽)内...
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