技术编号：12772417
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳能电池片制造领域，具体地说，涉及一种多晶湿法刻蚀设备。背景技术多晶湿法刻蚀设备是一种链式多晶硅片清洗设备。该清洗设备具有二合一功能，能够实现湿法刻边和去除磷硅玻璃(切断电池片表面PN结，使电池片正面和背面绝缘，以及腐蚀表面扩散层)。随着这种设备的出现，等离子刻蚀设备被逐渐淘汰，太阳能电池片生产工艺被逐渐优化。现有的多晶湿法刻蚀设备大多采用“水上漂”的湿法刻蚀技术对硅片的背面和硅片的四个侧边进行刻蚀。但是这种技术缺乏对硅片扩散面(上表面)的保护，硅片在刻蚀槽(保持8℃的工艺槽)内...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。