技术编号:12773555
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空设备技术领域,特别涉及一种用于在相邻的真空腔室之间传送物品的装置。背景技术真空设备都存在抽真空时间比较长,实验及生产效率比较低的问题,某些应用领域涉及到需要在真空功能室中通入危险气体、遇到某些气体导致工艺原料变质问题、某些工作气体遇到空气中的水会会变质问题等,为此需要配合真空功能室再做一个预真空室,使得样品从预真空室进出,而真空功能室不暴露大气,保持良好真空环境。这样,在预真空室与真空功能室间需要一个阀门,这个阀门可以开闭,打开时在保证样品有效在预真空室与真空功能室间传递的前提下,...
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