技术编号：12775724
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种惰性气体吹扫装置，尤其是在离线又需求高纯惰性气体吹扫的状况下，提出一种移动替换型在线氮气吹扫装置。背景技术电子工业中由于产业产品的需要，生产设备需要使用有害气体，腐蚀性气体以及化学用品。这些设备经常在更换产品时或者设备移位或废弃处置时需要对该种设备用惰性气体对设备进行吹扫，以排除残存的有害物质和化学物质。常规的做法是工厂都装备有固定的惰性气体端口，只要连接上该装置就可以实现吹扫之目的，但是在有些情况下无法用上固有装置又必须进行上述的吹扫。此时就需要有一种可以移动、可靠、且输出惰...
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