技术编号：12778652
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基于斜抛光纤和硅片湿化腐蚀工艺的斜抛光纤低压传感器器件。背景技术随着MEMS技术的快速发展，对结构的改进、制备手段的提高以及封装技术的改良成为了人们对这一技术的主要需求。现有光纤法布里-珀罗干涉仪主要是用来测量应变，它是由置于石英毛细管中的两段切割好的光纤端面和中间的空气隙组成谐振腔而成。利用其原理，基于光纤斜抛和硅片湿化腐蚀的斜抛光纤低压传感器具有精度高，线性测量范围大，制作方法易于实现的优点。此外，国内外研制光纤传像束的方法有鼓轮绕丝法、酸溶法、V型槽法等。通常采用横向移动...
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