技术编号:12779511
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示器制程监测技术,尤其是指一种监测蒸发源内部温度的方法。背景技术目前,有机电致发光(OrganicLightEmittingDiode,OLED)显示屏因具有自发光、广视角、短反应时间、高发光效率、广色域、低工作电压等优点成为显示领域的热点。其中,OLED显示屏的制程必不可少工序为材料蒸镀,而显示屏的显示均一性又与材料的蒸镀均一性直接相关,蒸镀均一性又与蒸发源所蒸发材料的温度和蒸发速度密切相关,因此,实时监控蒸发源的工作状态十分重要。现有技术通过监控蒸发源的外部热源的温度,可以控制蒸...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。