技术编号:12781642
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体集成电路制造领域,且特别涉及一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机。背景技术光刻机系统中的磁带机主要用于机台重要数据的大量复制和备份,对设备的安装、调试、使用和维护管理起着重要作用,而且操作使用简便易行。但一旦光刻机使用年久,磁带机常会故障和损坏,而备件经常停产和缺货,维修的零件也稀缺,价高且供货周期很长。因此使用现有兼容替代备件就是一个必须课题。实用新型内容本实用新型提出一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机,使得特种光刻机系统或其他DEC小型机中所需的磁带机可以兼...
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