技术编号:12783834
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压力传感器技术领域,尤其涉及一种高可靠的压力传感器隔离墙气密性电气穿墙封接工艺。背景技术随着微电子技术的发展,硅杯型压力传感器芯片批量生产工艺的革命性创新,以及直接电信号输出的优势,压力类传感器越来越多的采用硅杯型压力电子测量技术。在压力传感器的整体设计方案中,必须确保被测介质的不可泄漏,压力传感器需要采用二腔室结构,一般分为压力腔和常压腔,二腔室间需要采用高可靠气密性的刚性隔离墙执行隔断功能。并且要求隔离墙材料能耐候耐压力冲击,甚至耐油耐酸耐碱等。在硅杯型传感器中,绝大部分的方案需要...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。