技术编号:12785539
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种感光性树脂组成物、保护膜及具有保护膜的元件,尤其涉及一种可形成透明性佳与耐化学性佳的保护膜的感光性树脂组成物、由该感光性树脂组成物所形成的保护膜、以及包括上述保护膜的液晶显示元件。背景技术近年来,在半导体工业、液晶显示器或有机电激发光显示器等领域中,随着尺寸的日益缩小化,对于微影制程中所需的图案的微细化也要求日高。为了达到微细化的图案,一般通过具有高解析及高感度的正型感光性材料经曝光及显影而形成,其中,以聚硅氧烷聚合物为成分的正型感光性材料渐成为业界使用的主流。日本特开2008-1...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。