技术编号:12788019
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及扫描电子显微镜技术领域,尤其涉及一种全自动化的扫描电子显微镜及其探测方法。背景技术传统的光学系统对物体进行观测具有操作简单、方便的特点,且样品的制备简单,不需要高真空等严格的观测条件,因此常用于对物体进行快速显微观测。由于传统的光学系统分辨率低,在对物体进行高分辨率的探测时受到限制。在观察微观物体方面,扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,SEM)以其分辨率高,景深大等特点受到广泛应用。由于传统的扫描电子显微镜观测物体细微信息时,需要很高的放大倍数,因此...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。