技术编号：12788145
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于紫外光电探测技术领域，具体涉及一种基于自耗尽效应的TiO2/NPB异质一维纳米棒阵列紫外探测器及其制备方法。背景技术高灵敏度紫外光电探测器在天文观测、远程控制、环境监测和光学芯片等领域具有重要应用。近年来，新一代宽禁带半导体器件被广泛研究，其不仅具有良好的光电探测性能，而且克服了传统的光电倍增管器件结构复杂、体积大、耗能高等缺点，同时，宽禁带材料自身所具备的可见盲性，有效弥补了硅基器件无法实现自身屏蔽可见光的劣势。随着近几年半导体元器件各方面技术的进步，国内外对宽禁带半导体紫外探测器的...
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