技术编号:12788183
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种氧化物薄膜晶体管、阵列基板及制作方法。背景技术在平板显示技术领域,薄膜晶体管显示器(ThinFilmTransistorLiquidCrystalDisplay,简称TFT-LCD)具有体积小、功耗低、制造成本相对较低等优点,逐渐在当今平板显示市场占据了主导地位。随着TFT-LCD技术的发展,氧化物薄膜晶体管(OxideThinFilmTransistor,简称OxideTFT)技术也越来越成熟,它具有较高的载流子迁移率、低漏电流、TFT均一性好等优点,能应用...
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