技术编号:12788663
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光加工装置。背景技术以往的光加工装置用光扫描装置扫描光源发射的激光(加工光),将扫描激光会聚到加工对象物上进行加工。例如,专利文献1(JP特开2003-205384号公报)公开一种激光加工装置,该激光加工装置用galvano反射镜(光扫描装置)进行二维扫描,照射加工对象物,对加工对象物上的ITO薄膜进行图案加工,或者对金属薄板形成的加工对象物本身进行刻槽加工或打孔加工。该激光加工装置将卷绕成卷形状态保管在加工对象物供给部中的加工对象物从该加工供给部中拉出,移动到激光加工装置的加工区域(...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。