技术编号:12796251
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及带电粒子显微镜领域,并且尤其涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。背景技术如贯穿本文所使用的,应当将以下术语理解为与下面的解释一致:-术语“带电粒子”包含电子或离子(一般为阳离子,诸如,例如镓离子或氦离子,虽然也可能是阴离子;正在讨论中的离子可以是带电原子或分子)。该术语还可以指例如质子。-术语“显微镜”是指用于生成一般太小而无法用人的裸眼以满意细节被看到的对象、特征或部件的放大图像的设备。除了具有成像功能之外,这样的设备还可以具有机械加工功能;例如,可以使用它来通过从样本中去除材料(...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。