技术编号：12796595
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于基于真空调节部件流动和单个化的系统、装置和方法本申请是申请日为2011年12月8日、申请号为2011104210908、发明名称为“用于基于真空调节部件流动和单个化的系统、装置和方法”的中国专利申请的分案申请。技术领域本公开总体上涉及基于真空的，且用于调节物件或部件(例如，半导体部件)流动或运动和/或用于分隔沿进给轨道移动、运输或递送的物件或部件的系统、组合件、装置和方法。更具体地，本公开涉及了提供至少一个，以及在一些实施方案中提供多个旨在周期或间歇地施加真空力的分立或独立真空单元、腔或区的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。