技术编号:12797753
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学自由曲面检测系统领域,具体是一种光学自由曲面自适应非零位干涉检测系统。背景技术光学自由曲面因其表面自由度较大,可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差,同时满足现代光学系统高性能,轻量化和微型化的要求,从而逐渐开始成为现代光学工程领域的新宠。虽然在设计,加工,检测等方面稳步发展,然而成像领域对于光学元件面形的高精度要求却限制了自由曲面的大规模应用。尤其,自由曲面的检测技术已经成为制约其应用的最重要因素。目前光学自由曲面的检测方法主要分为接触式和非接触式。经过抛光之后的光学自由曲面...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。