技术编号:12798089
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种MEMS器件、MEMS温度传感器及各自的制作方法。背景技术从二十世纪八十年代末开始,随着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical-System,MEMS)技术的发展,各种传感器,例如加速度传感器、温度传感器实现了微小型化,以MEMS技术为基础的MEMS传感器由于采用MEMS加工工艺,实现了批量生产,克服了原有传感器体积大、成本高等缺点,成为未来发展的主要方向。然而现有的MEMS器件也存在一些问题。其一:目前的MEMS传感器通常采用电容式传...
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