一种半反半透型偏振分束光栅的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12799700

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本发明属于光学元件技术领域,具体涉及一种半反半透型偏振分束光栅。背景技术一维亚波长光栅结构由于具有沿单一方向的周期沟槽或折射率更替,因此对于TE波与TM波具有不同的衍射效应,这种衍射能量的重新分布特性使它能够成为一种偏振元件。目前,亚波长光栅主要基于导模共振原理实现偏振光分束,这就需要构建波导层并使其等效折射率大于基底层与覆盖层,通常通过制备折射率周期变换的介质层或独立膜层来实现,其制作过程相对复杂,并且制作过程出现细微问题都将影响光栅层的稳定性及很难实现高消光比的偏振分束等问题。发明内容本发明...
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