包括介质天线的光调制器件以及光学装置的制作方法技术资料下载

技术编号:12799949

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根据示范性实施方式的装置和方法涉及调制光的光调制器件。背景技术改变入射光的透射、反射、偏振、相位、强度和路径的光学元件已经被用于各种光学装置中。用于光学系统的光学调制器具有用于以期望的方式控制这些性能的各种结构。例如,利用精细的机械运动以阻挡光或控制反射元件以及其它元件的各向异性液晶和微机电系统(MEMS)结构已经被广泛用于典型的光学调制器。然而,根据已知的驱动光学调制器的方法,这样的光学调制器的操作响应时间慢并会达到大于几μs。期望使用纳米天线连同光学调制器,该纳米天线利用在金属层和介电层之间...
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