一种制备集成电感多元复合磁芯层的方法与流程技术资料下载

技术编号:12806625

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本发明涉及微电子与印制电路板领域,具体为一种基于化学沉积法制备具有双相结构的集成电感多元复合磁芯层的方法。背景技术作为三大重要的无源器件之一,电感器在射频、电源以及滤波等电路模块中起着非常重要的作用,因而是电子产品中必不可缺的部件。但是,随着电子产品,特别是便携式产品向集成化和小型化方向发展,这就要求电感必须对自身性能不断优化,减小体积,降低成本,并且具有兼容性。目前,电感器主要有两种结构:一种是螺旋型结构,另外一种为平面绕线型结构(可参考R.K.Ulrich等人发表的文章《Integrated...
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