一种热电制冷模块、集成光接口芯片和通信设备的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12807265

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本发明涉及光电通信技术领域,尤其涉及一种热电制冷模块(thermoelectriccooler,TEC)、集成光接口(integratedopticalinterface,IOI)芯片和通信设备。背景技术IOI芯片,即光电混合芯片,其集成了光芯片与电芯片,通过电芯片实现数据的逻辑处理等功能,通过光芯片出光实现高速互连。一种IOI芯片的侧视图如图1所示,其中,图1中的IOI芯片包括主基板、光芯片和电芯片,电芯片位于光芯片的上方,电芯片与光芯片之间,以及电芯片与基板之间可以通过焊球连接;另外IOI芯...
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