技术编号：12807702
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体电磁波探测领域，特别是涉及一种基于CMOS工艺的多晶硅天线耦合的太赫兹波热探测器。背景技术太赫兹(Terahertz，THz)波是指一种定义(广义上)在0.3THz到30THz之间电磁波。在这个频段的电磁波相较于x射线，能量较低。相较于可见光来说，穿透能力更强。这些特性使得太赫兹成像在安全监测领域有很大的发展前景。太赫兹探测技术作为太赫兹成像的基础技术，近年来研究趋势不断增长。目前，太赫兹探测器的种类有：天线耦合的场效应晶体管自混合探测器、天线耦合的肖特基二极管探测器、量子阱探测...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。