技术编号:12808722
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及射频微机电系统技术领域,具体为一种薄膜体声波谐振器。背景技术随着射频微波通信系统朝着小型化、集成化、低损耗的方向发展,对谐振器提出了更高的要求,其中最为显著的两个发展方向为高频率和高速度。薄膜体声波谐振器FBAR的工作频率范围为900MHz到3GHz之间,它在满足高频率的同时,兼顾了电子元器件的微型化和低功耗的发展趋势。相比于传统的介质滤波器和声表滤波器SAW,利用薄膜体声波谐振器FBAR集成的射频滤波器具有体积小、工作频率高、插入损耗低、带外抑制大、高Q、大功率容量以及良好的抗静电冲...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。