技术编号：12808780
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS加速度计领域，具体地，涉及一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路。背景技术MEMS加速度计主要用于测量运动物体相对于惯性空间的加速度，由于其体积小、功耗低、易集成、可批量生产等特点，使其在汽车工程、振动检测、航空导航和军事应用等场合中发挥着越来越重要的作用。MEMS加速度计根据其工作原理可以分为开环加速度计和闭环加速度计。开环加速度计通过测量质量块位移变化导致的电容变化来测量加速度，精度较低、线性度差。闭环加速度计也称为力平衡加速度计，其工作原理是：当惯性力作用在质量块上时，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。