技术编号:12810743
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微型加热盘技术领域,具体涉及一种具有电阻加热层的微热盘结构及其制造方法。背景技术微热盘装置广泛应用于需要局部高温的产品中,包括高温化学传感器、微型化学反应器、红外光源、流量传感器等。微热盘通过温度隔离技术,实现小尺寸和低功耗。微热盘的温度隔离结构可以是MEMS工艺悬膜、悬梁;也可以是具有低热导率的高孔隙率材料,如阳极氧化铝(AAO)、多孔硅(PS);甚至可以是具有低热导系数的蓝宝石、氧化钇或石英等体材料。目前广泛采用的是MEMS工艺的微热盘,这些产品的尺寸大多在1-5mm2。微热盘通过...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。