技术编号：12812787
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于硅微纳米结构加工技术领域，具体涉及一种可以控制硅纳米线走向的加工方法。背景技术硅微纳结构具有突出的小尺寸效应，表面效应，量子尺寸效应等特殊效应，正是由于其具有这些特殊的物理性质且还具有突出的光电学特性、热稳定性使其在微电子、光电子、MEMS器件及生化传感等领域获得广泛应用，越来越受到人们的广泛关注。制备硅纳米线的方法很多，如气-液-固法、激光刻蚀法、离子反应腐蚀法等，而金属辅助化学刻蚀法因其突出的优点而得到了广泛的应用。但是单纯的通过金属辅助化学刻蚀法制备的硅纳米线加工质量低下，可重复...
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