技术编号:12812878
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅及其制造方法本申请是申请日为2011年8月25日、申请号为201110256319.7、发明名称为“多晶硅及其制造方法”的发明专利申请的分案申请。技术领域本发明涉及多晶硅及其制造方法。背景技术多晶硅目前在工业上大规模生产,并且特别是作为原料用于光伏应用及用于晶片制造中单晶的制造。在所有应用中期望高纯度的原料。在制造多晶硅时,在由气相沉积之后需要将多晶硅棒破碎成小块用于进一步加工。但是在此高纯硅由于使用破碎工具而或多或少地被外来原子污染。此外,产生硅尘颗粒,其粘附在碎块上。通常对硅碎块进行清...
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