技术编号:12813590
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制程领域,尤其涉及一种蒸镀装置。背景技术有源矩阵有机发光二极管(AMOLED)具有高对比、宽视角、响应速度快等,越来越受到人们的重视。而AMOLED全彩显示器较主流的制备方式是热蒸镀加精密掩膜板法,但该方法有较艰巨的一项挑战就是红、绿、蓝三色用精密掩膜板蒸镀时容易有混色现象。混色现象主要来源于蒸镀装置对位过程中引起的,在蒸镀装置对位过程中,传入的蒸镀基板只有周边30毫米左右的位置有治具承接,这样蒸镀基板由于重力原因会下垂,对位时精密掩膜板与蒸镀基板要不停的接触分离等动作来实现精密...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。