技术编号:12813674
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及自动清洁装置,特别涉及一种坩埚取出、清洗装置。背景技术目前的坩埚包括以下几类:石墨坩埚、粘土坩埚和金属坩埚,坩埚在使用完后,坩埚内壁上会粘有附着物,附着物需要清洗掉,以保证坩埚内壁的光洁度。现有坩埚取出、清洗装置刷头单一,用单一刷头清洗沾有不同污染物、不同的坩埚时适应性差、清洗不彻底,如果频繁更换刷头则耗费工时。实用新型内容有鉴于此,有必要针对上述问题,提供一种配置多类型刷头及与刷头配套的感应驱动部件的坩埚取出、清洗装置。本实用新型采用如下技术方案解决上述问题:一种坩埚取出、清洗装...
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