技术编号：12817269
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微电子生物传感器，尤其涉及的是一种集成型生物传感器及其制备方法。背景技术作为传统的微电子材料，硅材料在CMOS领域得到了广泛的应用，而硅材料在通信波段具有很低的损耗系数，是一种良好的导波材料，近年来硅光子学逐渐成为一个热门的研究领域，在光电调制器，分路器以及各种有源无源器件获得了巨大的突破，同时研究者们也逐渐将硅光子学应用到各个传感领域，包括生物，环境，化学检测，硅材料由于与CMOS兼容，高折射率，研究者们已经研究出了基于各种不同结构的集成光学传感器，包括马赫曾德干涉仪，表面等离子...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。