技术编号：12823630
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻机运动台系统和光刻机，应用于光刻技术领域。背景技术微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术是高科技和信息产业的核心技术，已经渗入到现代技术和社会生活的各个领域，微电子技术的迅速发展改变了现代社会生活的面貌，带来了新的产业革命。随着智能设备在生活中不断普及，对于液晶显示屏幕的需求越来越大，对屏幕生产设备的性能和产能提出了更高的要求。其中，TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)技术是屏幕生产的关键技术。在TFT光刻机...
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