技术编号：12823646
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。电子射束光刻系统本申请是申请人于2013年03月20日提交的名称为“用于运输自由基的装置和方法”的第201380025372.3号(PCT/EP2013/055865)专利申请的分案申请。技术领域本发明涉及电子射束光刻系统。本发明涉及用于运输自由基(例如，用于除去污染沉积物)的装置和方法。本发明进一步涉及包括这种装置的带电粒子光刻系统。本发明进一步涉及用于连接到等离子室的压力调节器。本发明进一步涉及用于运输自由基的方法。发明内容带电粒子光刻系统的精确度和可靠性会因为污染受到负面影响。在这种光刻系...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。