技术编号：12823658
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及投影光刻领域，特别涉及一种调焦调平装置及方法。背景技术投影光刻机或称投影光刻设备，是将掩模上的图案通过投影物镜投影到工件表面的装置。在投影光刻设备中，必须有自动调焦调平装置指引工件台将工件表面精确地移动到指定的曝光位置。自动调焦调平装置的自动调焦调平控制功能有多种不同的技术方案，目前较常用的是非接触式光电测量技术。基于图像传感器的光电探测方案是一种比较成熟的非接触式光电测量技术方案，依据标记光斑投影在被测物面上的位置与其被反射后成在探测器(CCD等光电式探测器)上像的位置对应关系，计算...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。