技术编号:12827274
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例一般地涉及半导体技术领域,更具体地,涉及集成芯片及其制造方法。背景技术电迁移是由碰撞引起的导电材料内原子的转移,该碰撞在传导电子和导电材料的原子之间传递动量。现代集成芯片通常经历金属互连层中的电迁移。例如,随着电子将电流传送至半导体器件,电子与金属互连层的金属原子发生碰撞。该碰撞会引起金属互连层内的金属原子的移动(即,经受电迁移),从而导致会致使集成芯片失效的金属互连层内的空隙。发明内容根据本发明的一些实施例,一种执行电迁移签核的方法,包括:确定多个实际温度,所述多个实际温度分别对...
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